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實(shí)驗室凈化工程的溫濕度控制
隨著(zhù)工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展,實(shí)驗室凈化工程的需求越來(lái)越多。除了滿(mǎn)足實(shí)驗室的溫濕度要求外,對室內的微粒子含量、氣流、壓力等也控制在一定范圍內。
1.溫度控制:實(shí)驗室凈化工程的具體控制方案為:實(shí)驗室凈化內的回風(fēng)夾道處安裝冷水盤(pán)管,實(shí)驗室凈化下架層的格構梁上安裝有溫度傳感器,對應區域回風(fēng)夾道處冷水盤(pán)管的中溫冷凍水管道上安裝有電動(dòng)調節閥,每個(gè)區域的溫度與此電調節閥構成閉環(huán)控制,用控制盤(pán)管內中溫水流量來(lái)控制對應區域的溫度,此PID加適當微分,用以克服溫度傳感器的滯后性。
2.濕度控制:實(shí)驗室凈化溫度控制穩定后,濕度過(guò)高容易結露,過(guò)低則容易產(chǎn)生靜電,都會(huì )影響液晶面板的良率,因此55%±5%的相對濕度是控制的一個(gè)目標。但對于如此大型的潔凈廠(chǎng)房直接加濕和除shi是不現實(shí)的,于是采用非潔凈區的新風(fēng)機組通過(guò)不停補新風(fēng)的置換來(lái)控制。
3.電氣、儀表設計,溫濕度傳感器:每個(gè)分廠(chǎng)實(shí)驗室凈化面積大概在3萬(wàn)多m2,平均每500m2范圍內安裝一溫濕度一體的傳感器,用以直接監視實(shí)驗室凈化內溫濕度。溫度傳感器:安裝于潔凈間下夾層格構梁上,PID設定值23℃,可以確保氣流經(jīng)生產(chǎn)區直接吹下來(lái)的溫度穩定在23℃。
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